英文名稱：Sulfane
CAS號：7803-62-5
分子式：SiH4
分子量：32.12
規(guī)格：99.999%
熔點(diǎn)(101.325kPa)： -185.0℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)： -111.5℃
液體密度(-185℃)： 711kg/m3
氣體密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L
臨界溫度： -3.4℃
臨界壓力：4843kPa
包裝：44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8L的氣瓶中

產(chǎn)品參數(shù)：

硅烷質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：

硅烷有毒。硅烷在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。

硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)。可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因?yàn)樗�高純度和能�?shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。

硅烷氣是太陽能電池生產(chǎn)過程中不可或缺的材料，因?yàn)樗�是將硅分子附著于電池表面的最有效方式。在高�?00℃的環(huán)境下，硅烷氣分解成氣態(tài)硅和氫氣。氫氣燃燒后，剩下的就是純硅了。此外，硅烷氣可以說是無處不在。除了光伏產(chǎn)業(yè)外，還有很多制造工廠需要用到硅烷氣，如平板顯示器、半導(dǎo)體、甚至鍍膜玻璃生產(chǎn)廠。

儲存：

1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。

2.存儲區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲存區(qū)內(nèi)所有電器必須有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)最少相距20ft。

3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以保證能耐火半小時(shí)。儲存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。 苯基氯硅烷4.存儲溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時(shí)間過長。

5.使用先進(jìn)先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲存區(qū)內(nèi)安裝測漏器和報(bào)警設(shè)備。

注意事項(xiàng)：

系統(tǒng)溫度不可低于－170℉ (－112℃)，否則可能會吸入空氣形成爆炸性混合物。

2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應(yīng)。應(yīng)仔細(xì)吹掃系統(tǒng)，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳?xì)浠�合物�?nbsp; 

3.用二至三倍的工作壓力對系統(tǒng)進(jìn)行全面加壓檢漏，最好使用氦氣。此外，還應(yīng)建立和執(zhí)行常規(guī)的檢漏制度。  

4.系統(tǒng)檢漏或因其他原因打開之后，應(yīng)使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統(tǒng)中的空氣吹掃干凈。在打開任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前必須用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，必須抽真空循環(huán)吹掃。  

5.應(yīng)將硅烷排放到一個(gè)專門處理它的地方，最好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險(xiǎn)，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。  

6.應(yīng)按照美國壓縮氣體協(xié)會的要求儲存和使用壓縮氣體。當(dāng)?shù)乜赡軐�儲存和使用氣體要求有特殊的設(shè)備規(guī)定。